Flur des mst

Lehrstuhl Mikrosystemtechnik (mst)

Räumlichkeiten

Aufteilung der Arbeitsräume des Instituts am Campus Vaihingen.

Die Räumlichkeiten des mst erstrecken sich über drei Gebäude der Universität Stuttgart. Diese Aufteilung resultiert aus den speziellen Anforderungen einzelner Geräte und Arbeitsbereiche an ihre Unterbringung. So ist das Rasterelektronenmikroskop zum Beispiel in einem Reinraum untergebracht, während sich das Chemielabor in einem Gebäude befindet, das die speziellen Anforderungen an die Belüftung erfüllt.

Die Büros des Lehrstuhls sowie Studentenarbeitsräume, Werkstatt, Messlabor und Versuchsräume sind im Hauptgebäude im Pfaffenwaldring 4F untergebracht.

Pfaffenwaldring 4F (c)
Pfaffenwaldring 4F

Hauptgebäude - Pfaffenwaldring 4F

Räume:

  • Büros
  • Studentenarbeitsräume
  • Versuchsräume
  • Werkstatt
  • Messlabor
  • Lithographielabor

Pfaffenwaldring 9 (c)
Pfaffenwaldring 9

Reinraum - Pfaffenwaldring 9

Geräte:

  • Scanning Electron Microscope (SEM)
  • Focused Ion Beam (FIB)

 

Almandring 5B (c)
Almandring 5B

Weitere Versuchsräume - Almandring 5B

Räume:

  • Chemielabor
  • Versuchslabor
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