Forschung am mst

FluidAssem

Das Projekt FluidAssem befasst sich mit der Selbstmontage von Kleinst-Chips mithilfe von Flüssigkeiten.

Projektstatus: abgeschlossen

Im Rahmen des vom BMBF geförderten Projektes „FluidAssem“ wurden innovative Verfahren entwickelt, mit deren Hilfe die automatisierte Montage von zukünftigen immer kleiner und dünner werdenden Halbleiterchips zuverlässig und kostengünstig durchgeführt werden können.

Die Vision von FluidAssem war es, dass zukünftig Kleinst-Chips (Kantenlänge < 500 µm, Substratdicke < 50 µm) berührungslos mittels Flüssigkeiten in einem Prozess der Selbstorganisation gehandhabt und positioniert werden können.

Die Projektarbeiten liefen gemeinsam mit dem Fraunhofer IPA (Abteilung: Reinst- und Mikroproduktion).

Schematische Darstellung des Prozessablaufs (c)
Schematische Darstellung des Prozessablaufs

Ansprechpartner

Zum Seitenanfang