Dieses Bild zeigt Menschliches Haar, mit dem FIB beschriftet.

Willkommen beim

Lehrstuhl Mikrosystemtechnik

Der Lehrstuhl Mikrosystemtechnik (mst) beschäftigt sich mit Forschung und Lehre im Bereich der Mikro- und Nanotechnologien.

Der Lehrstuhl Mikrosystemtechnik (mst) ist der Fakultät 7 – Konstruktions-, Produktions- und Fahrzeugtechnik (Maschinenbau) – zugehörig. In diesem Rahmen beschäftigt sich der Lehrstuhl mit Technologien der Nano- und Mikrosystemtechnik.

News / 21. Juli 2017

Lehre am mst

In der Lehre werden den Studierendendie Grundlagen der Mikrosystemtechnik vermittelt. Ein weiterer Schwerpunkt liegt auf den Technologien und Prozessabläufen zur Herstellung mikro- und nanosystemtechnischer Komponenten. Auch die Funktionsweisen verschiedener Sensoren und Aktoren werden im Rahmen der Vorlesungen aufgegriffen. Weiterhin beschäftigt sich der Lehrstuhl mit dem Themengebiet der Mikrofluidik: Hier werden Strömungsphänomene in Mikrostrukturen betrachtet. Nähere Informationen finden Sie unter Lehre.

Forschung am mst

In der Forschung beschäftigt sich der Lehrstuhl Mikrosystemtechnik unter anderem im Bereich der Sensorik mit der Miniaturisierung von Nanobeschleunigunssensoren. Im Bereich der Mikrofluidik beschäftigt sich der Lehrstuhl mit Tropfenanalyse- und Dosiersystemen. Außerdem werden Biosensoren für Lab-on-a-Chip-Systeme betrachtet. Ein weiterer Schwerpunkt liegt auf der Untersuchung der Miniaturisierung von Kupferleiterplatten. Nähere Informationen finden Sie unter Forschung.

Unsere Kompetenzen

Die Möglichkeiten des Lehrstuhl Mikrosystemtechnik schließen auch die Nutzung von Fertigungs- und Analysewerkzeugen ein. Neben Mikrofräsen zur spanenden Bearbeitung bis hinab auf 200 µm können Bauteile auch generativ mit verschiedenen 3D-Druck-Verfahren hergestellt werden. Zur Nanobearbeitung steht ein Focused Ion Beam zur Verfügung. Im Bereich der Analysetechnik kann neben optischen Mikroskopen auf ein Rasterkraft- und ein Rasterelektronenmikroskop zurückgegriffen werden. Nähere Informationen zu unseren Möglichkeiten finden Sie unter Ausstattung.

Ansprechpartner

Univ. Prof. Dr.-Ing.

Hermann Sandmaier